P02500 - SEMI P25 - 焦点深度および最適焦点深度（仕様） Revision:SEMI P25-94 (Reapproved 1104) - Inactive 慣例単位は参考目的のみのために括弧内に併記され，最も近い数値に丸められてきた。

慣例単位は参考目的のみのために括弧内に併記され，最も近い数値に丸められてきた。

This Guide provides an overview of the various elements of Tool Accommodation

この文書では，液中パーティクルカウンタの計数効率試験の条件を定義する。

2-0698 (Reapproved 0706)

P02500 - SEMI P25 - 焦点深度および最適焦点深度（仕様） Revision:SEMI P25-94 (Reapproved 1104) - Inactive 慣例単位は参考目的のみのために括弧内に併記され，最も近い数値に丸められてきた。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Global Micropatterning CommitteeNorth American Microlithography Committee2004816North American Regional Standards Committee20049www. semi. org200411 1994 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the