C00355 - SEMI C3.55 - シラン（SiH4），バルク，品質99.994%の仕様 StdPbc-1211 This Standard is intended to

This Standard is intended to set an appropriate level of specification that places minimal limits on supplier innovation while ensuring opportunities for users to be globally (though possibly not locally) efficient with equipment volumes

窒素シリンダは，3つの部品から構成される：(1)シリンダ・ボトル，(2)充填された圧縮窒素，および(3)シリンダ・バルブ。それぞれの部品がパーティクルのソースとなり得る。この仕様は，規定条件下でシリンダから得られるガス中に検出されるパーティクルの総数に適用される。パーティクル源は考慮されない。

orgで入手可能となる。初版は1995年2月発行，前版は2004年3月発行。

SEMI F40 — Practice For Preparing Liquid Chemical Distribution Components for Chemical Testing

C00355 - SEMI C3.55 - シラン（SiH4），バルク，品質99.994%の仕様 StdPbc-1211 This Standard is intended toglobal Gases Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org20002 (SiH4) Referenced SEMI Standards None.