G08000 - SEMI G80 - 自動試験装置の総合的デジタルタイミング精度を分析するための試験方法 Revision:SEMI G80-0200 (Reapproved 0612) - Inactive Appropriate information is summarized in

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本测试方法使用基于惰性气体熔融原理并采用红外检测器测量技术的商用氢分析仪。

一般用は3インチ，100 mm，125 mm，150 mmのウェーハを扱う基本ガイドラインである。

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G08000 - SEMI G80 - 自動試験装置の総合的デジタルタイミング精度を分析するための試験方法 Revision:SEMI G80-0200 (Reapproved 0612) - Inactive Appropriate information is summarized inNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI CurrentInactiveInactiveSEMI ICATEAC ATEATEATE ATE Referenced SEMI Standards (purchase separately) SEMI G79 Specification for Overall Digital Timing Accuracy